AMC2000氣體流量控制器(Mass gas flow controller)縮寫為MFC,是對(duì)氣體的質(zhì)量流量進(jìn)行精密測(cè)量和控制的設(shè)備。傳感器采用自主研發(fā)的MEMS質(zhì)量流量芯片,具有精準(zhǔn)、穩(wěn)定,同時(shí)具有耐高低溫、線性好、響應(yīng)時(shí)間快等特點(diǎn)。出廠前對(duì)AMC2000量程、精度、重復(fù)性、響應(yīng)時(shí)間等都進(jìn)行了校準(zhǔn)。